透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)是一种利用电子束而不是光进行成像的显微镜。它能够提供比光学显微镜更高的分辨率,可以观察到微米到纳米尺度下的细节。
TEM的工作原理主要由以下几个方面组成:
1. 电子源: TEM通常使用一个热阴极,通过施加高电压来加热阴极以产生热电子,然后通过一系列的聚束装置将电子束聚焦到非常小的尺寸。
2. 聚焦系统:包括电子透镜和构成透镜的磁场设备。磁场可以通过调整透镜上电流的强弱来对电子束进行聚焦,从而获取所需的放大倍数和空间分辨率。
3. 电子透过样本: TEM的关键部分是样本。为了使电子透过样本,通常需要将样本制备成薄片,通常在几十到几百纳米的厚度范围内。样本通过一个透过式的防护屏并被放置在一个叫作透镜架(透射电子显微镜的一部分)里。而透射率取决于样本的厚度、密度和元素组成。
4. 探测系统:包括能够测量电子被样本散射或透射的各个方向上的电子器件。
5. 影像形成:当电子束通过样本时,其中一部分被样本散射,而另一部分透过样本。透射的电子将在一个像平面上形成一个衍射图样,通过使用成像系统(像差补偿系统)将图样聚焦成所需的图像。
综上所述,透射电子显微镜的工作原理主要是通过聚焦电子束、使其透过制备成薄片的样本,并通过散射和透射来形成图像。通过调整聚焦和成像系统,可以获得所需的放大倍数和分辨率,从而观察到巨观和纳米级别的细节。
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